高频响MEMS压力传感器-31513060109-1-信息系统2017预研
发布时间：2017-08-29
对接截止时间：2017-09-21
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已对接企业数量：
功能用途
备注：2017年度信息系统预研指南无需通过网上对接，请按照互联网站“采购公告->其他公告”栏目2017年8月29日发布的“军委装备发展部信息系统局关于2017年全军共用信息系统装备预研指南发布公告”和“军委装备发展部信息系统局关于2017年全军共用信息系统装备预研立项评审工作规范（试行)”相关要求参与。
主要指标
研究方向：针对爆炸冲击波、爆炸元件等动态压力测试需求开展高频响压力传感器设计、工艺研究。
牵引性指标：（1）上升时间≤1μs；（2）谐振频率≥500kHz；（3）量程500Kpa、1Mpa、2Mpa、5Mpa；满量程输出80mV（5V供电）；技术成熟度达到5级。
进度要求：2017～2019年。
成果形式：样机，论文、专利，全套技术文件（包括设计文件、工艺文件、测试报告、研究报告）等。
最大支持单位数：1，每家单位经费限额：350万元。
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