重点实验室基金-61428010201-CVD/MOCVD外延生长流体动力学研究
发布时间：2017-05-19
对接截止时间：2017-06-19
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功能用途
针对MOCVD外延过程中的生长动力学，利用数值方法系统研究工艺条件、反应室设计对反应过程中质量输运、化学反应动力学的影响，构建三维输运-反应模型，为GaN外延材料生长提供指导。
主要指标
联系人：许婧；办公电话：0311-87091439；项目受理详细地址：河北省石家庄市新华区合作路113号
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