军用MEMS专用超薄高平整硅双面抛光片
发布时间：2016-07-13
对接截止时间：2016-07-27
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功能用途
应用于微机械器件，实现了微陀螺仪零偏稳定性和零偏加速度敏感性等性能的提升
主要指标
共1个品种。主要指标为：直径：150±0.2mm；厚度：240±2μm；总厚度变化(TTV)：≤2μm；翘曲度(Warp)：≤25μm；局部平整度(STIR)：≤0.5μm（15mm×15mm）
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